半导体晶片用组合结构砂轮

本发明涉及一种半导体晶片用组合结构砂轮，包括用于粗磨的粗磨砂轮片、用于精磨的精磨砂轮片及用于半精磨的半精磨砂轮片，粗磨砂轮片、半精磨砂轮片、精磨砂轮片依次同轴叠放；粗磨砂轮片、半精磨砂轮片、精磨砂轮片中的上下相邻的两个砂轮片，其中上方的砂轮片的下侧设有锥台，下方的砂轮片的上侧设有与所述锥台定位配合的锥形槽，且相邻两个砂轮片之间设有间隙；粗磨砂轮片、半精磨砂轮片及精磨砂轮片在轴向上通过螺栓组进行固定连接；当其中一个砂轮片磨损较严重时，可单独更换，而不用整体报废，延长砂轮使用寿命。