一种基于低温冷却的金刚石抛光盘

本发明公开了一种基于低温冷却的金刚石抛光盘。该金刚石抛光盘包括金属盘、隔热垫和转接板，金属盘嵌于隔热垫的上部，隔热垫的下部连接转接板；金属盘内有液氮腔，金属盘上表面开有注入液氮的液氮口，液氮腔内有支撑柱；转接板内有轴孔，用于安装外接电机的转轴。本发明的基于低温冷却的金刚石抛光盘采用液氮低温冷却的方式辅助金属盘抛光金刚石，在抛光过程中不需要添加金刚石磨料，金刚石材料的去除量极小，仅为每小时几十纳米量级。