多功能全自动匹配器

本发明属于匹配器技术领域，尤其是一种多功能全自动匹配器，针对现有的匹配器具有多个缺点，1、无法满足大功率使用环境，2、只有单一的两种工作模式，3、匹配速度慢，进而造成匹配器使用不便的问题，现提出如下方案，其包括控制台，所述控制台电性连接有射频电源、多功能自动匹配器、chamber控制室和其他辅助设备，其他辅助设备电性控制有气和水电，所述其他辅助设备和chamber控制室电性连接，所述射频电源和多功能自动匹配器电性连接，所述多功能自动匹配器和chamber控制室电性连接。本发明满足大功率使用环境，使用方便。