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一种单晶硅片截面打磨用滚磨机

公开(公告)号:CN109822432A

申请日:2019.03.14

公开(公告)日:2019.05.31

分类号:B24B19/22 B24B41/00

申请(专利权)人:成都青洋电子材料有限公司

申请日期:2019.03.14

本发明公开了一种单晶硅片截面打磨用滚磨机,涉及单晶硅片技术领域,包括底座,所述底座的上方固定连接有支架,所述支架的上端固定连接有横杆,所述横杆的侧面固定连接有滑杆。本发明在使用时,将单晶硅片放置在下托板上的托槽中,然后转动上压板并插入插销,此时压块将单晶硅片压制在托槽中,然后启动驱动电机,摇动摇把,此时摇把通过螺纹杆带动滑块在滑杆上滑动,从而将安装在下托板上的单晶硅片向滚筒的方向移动,进而对单晶硅片截面进行打磨,相比较现有的滚磨机,新型的单晶硅片截面打磨用滚磨机,能够对打磨的深度进行控制,从而提高产品质量,并且单次可以打磨多个单晶硅片,加工效率更高,提高生产效率。