真空系统测漏装置

本实用新型公开了一种真空系统测漏装置，包括真空泵、控制阀、检测仪和封堵板；其中，真空泵的抽气口与待测真空腔室相连通，真空泵上开设有连接口；控制阀上设置有进气口和出气口，进气口与连接口相连；封堵板封堵在出气口上。检测待测真空腔室是否泄漏时，将封堵板从控制阀的出气口取出，并将检测仪连接在该出气口上，然后打开控制阀，以使控制阀的进气口和出气口相通，从而便于检测仪检测真空腔室的泄漏状况。与现有技术相比，检测真空腔室的泄漏情况时，仅需简单操作控制阀的开关即可，不必频繁的开关真空泵，简化了操作过程，缩短了检测所需时间，提高了检测结果的精确性。