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液体辐照加工装置及液体辐照加工系统

公开(公告)号:CN109300571A

申请日:2018.11.12

公开(公告)日:2019.02.01

分类号:G21K5/02(2006.01)I G21K5/10(2006.01)I

申请(专利权)人:华中科技大学

申请日期:2018.11.12

本发明实施例公开了一种液体辐照加工装置及液体辐照加工系统。所述液体辐照加工装置可包括:辐照槽,用于盛放液体;压板结构,安装在所述辐照槽上,所述压板结构包括安装环;钛膜,安装在所述安装环内,用于供辐照的粒子束通过对所述辐照槽内的液体进行辐照加工;金属密封结构,位于所述辐照槽和所述压板结构之间,通过所述金属密封圈的形变形成液体密封。