一种高精度激光加工远心F-Theta扫描透镜

本发明公开一种激光加工应用中的远心F‑Theta扫描场镜。从激光入射方向开始，包括具有焦距f1的第一透镜L1、具有焦距f2的第二透镜L2、具有焦距f3的第三透镜L3、具有焦距f4的第四透镜L4、具有焦距f5的第五透镜L5、具有焦距f6的第六透镜L6，物镜总焦距为f。本发明的扫描场镜排布成“+‑‑+++”的光焦度分布，与现有技术相比，扫描场镜在保证严格F‑Theta线性前提下，全幅面光斑大小具有高度一致性并保持良好的会聚性。本发明F‑Theta镜头特别适用于高精度激光加工应用，如切割和钻孔。