原子力显微镜外接设备多参数原位测量系统及测量方法

本发明涉及一种原子力显微镜外接设备多参数原位测量系统，包括信号输入输出仪，电流/压源输出仪，AFM控制器，电子盒,MAC/ACC控制器，光电信号检测器，导电微悬臂探针，样品台，激光信号，样品，电流/压源输出仪连接在信号输入输出仪的电流信号的IN/OUT的BNC端口上，电流/压源输出仪连接电脑主机，信号输入输出仪连接AFM控制器与MAC/ACC控制器以及连接原子力显微镜基座电信号端与AFM控制器，电子盒连接MAC/ACC控制器与原子力显微镜基座电信号端，导电微悬臂探针与电子盒连接，导电微悬臂探针的外侧设有光电信号检测器，光电信号检测器与电子盒连接。本发明实时探测电信号下某微区域的表面电势和电学特性，得出形貌特征。