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一种金属铱针尖的电化学制备装置及制备方法

公开(公告)号:CN109709353A

申请日:2019.01.11

公开(公告)日:2019.05.03

分类号:G01Q70/16

申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第三十八研究所

申请日期:2019.01.11

本发明公开一种金属铱针尖的电化学制备装置及制备方法,包括刻蚀调节装置、控制电路和电化学池,电极放置在电解液内,探针夹具将待制备铱丝的端部放置在电解液内,可变压交流电压源的正负极通过控制电路分别与电极和探针夹具连接形成刻蚀电路;刻蚀调节装置调节所述待制备铱丝伸入所述电解液液面下的长度尺寸;控制电路采集刻蚀电路中有效的实时电流值并控制刻蚀电路的连通或断开;本发明通过所述控制电路控制刻蚀的终点,可以精确的控制刻蚀电压切断时间,操作方便,制备的铱针尖曲率半径小,重复性好,容易获得铱丝刻蚀的最佳条件,使制备的针尖保持较好的形貌,且具有较高的成功率和较好的重现性。