一种原子力显微镜快速成像方法

本发明涉及微纳科学与技术研究中的精密仪器领域，具体涉及一种原子力显微镜快速成像方法。本发明提出并实现了一种基于二维正则化迭代硬阈值算法的原子力显微镜快速成像方法,来改进原子力显微镜成像时的效率和精度。与传统原子力显微镜的成像方法相比，本发明所提出的成像方法，通过压缩采样降低原子力显微镜成像采样时间、减少探针对样品的损害，可以减小探针针尖与样品表面过多的接触造成样品表面损伤，同时基于二维正则化迭代硬阈值算法极大降低了二维稀疏信号计算复杂度，提高信号重构效率，极大地提高原子力显微镜成像速率，也明显减小了探针针尖与样品接触而造成的样品损伤。