一种静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构及其使用方法

本发明公开一种静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构及其使用方法，静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构包括相邻布置的第一质量块和第二质量块、第一静电驱动部分、第一检测部分、第一敏感部分、第二静电驱动部分、第二检测部分、第二敏感部分、第一至第八固定基座、第一至第八弹性连接梁和质量块弹性连接件。先将两个质量块驱动到驱动模态，在敏感部分加上初始电压，敏感部分会产生静电力，计算出初始静电刚度，并且这时d₁、d₂相对于开始的位置已经发生了变化，当有加速度加在质量块上的时候质量块的位置发生变化导致d₁、d₂再次发生变化，进而导致静电刚度发生改变，谐振频率发生改变，从而达到用谐振频率敏感加速度的目的。