一种共享质量块的三轴电容式加速度计

本发明提供了一种共享质量块的三轴电容式加速度计，包括：质量块，质量块被设置为：能够在三个轴向平动；基底，质量块相对基底进行平动；固定锚点，固定锚点将质量块连接至基底；检测电容，其电容值随着质量块的平动而发生变化。实现三个轴向平动的关键是通过两段式的刚性梁连接。与传统的加速度计敏感方式相比，本发明提供的加速度计大幅度提高了传感器的敏感度。同时，结合合成电容的检测方式，进一步大幅度地降低芯片的面积，降低产品的生产成本。