一种单晶压电薄膜体声波谐振器以及制作方法

本发明提供一种单晶压电薄膜体声波谐振器以及制作方法。该制作方法包括：在供体基底之上形成压电结构和顶电极，其中顶电极在压电结构之上；在转移基底之上形成空腔和底电极，其中底电极覆盖空腔；采用干法转移印刷工艺将压电结构和顶电极从供体基底转移到底电极之上。本发明具有工艺简单易行、单晶压电薄膜质量好，生产良率高等优点。该方法简便易行，该谐振器性能良好。