一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法及系统

本发明提供了一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法，该方法为：先获取一个脉冲序列中第n个脉冲的能量测量值；然后计算该能量测量值与能量设定值之间的差值；以该序列的第z个脉冲为分界点，当n为小于z的正整数时，根据第一数学模型计算下一个脉冲的放电电压值；当n为大于z–1的整数时，根据第二数学模型计算下一个脉冲的放电电压值；最后根据计算的放电电压值产生下一个脉冲。该控制方法能够有效控制每个脉冲序列中的能量超调现象和一个脉冲序列中所有脉冲能量的稳定性。基于该控制方法的控制系统包括：高压放电模块、激光器腔体、激光参数测量模块和能量稳定控制器，结构简单，只需要分离出少量能量即可实现对系统的能量稳定性控制。