一种复合薄膜

本实用新型的具有低温制备、高导电性、高透光性的薄型化复合薄膜结构，设置于光电元件的基材及至少一个金属电极之间，其特征在于：该薄膜结构具有第一透明层、导电层及第二透明层。该第一透明层为半导体透明导电薄膜，沉积在该基材的一侧面；该导电层为纳米级的导电薄膜，沉积在该第一透明层的一侧面，第二透明层为氧化物透明导电薄膜，沉积在该导电层的一侧面。