椭圆振动压电驱动器及其驱动方法

本发明涉及一种椭圆振动压电驱动器及其驱动方法，属于压电精密驱动技术领域。装置包括基座、驱动单元、动子、间隙调节单元；驱动单元由柔顺机构、两组压电叠堆和楔块组成，其中柔顺机构具有对称结构，左右各分布有呈相互垂直的两组柔性铰链结构，并交叉于正前端，实现对左右压电叠堆产生的运动的合成输出；间隙调节单元和动子均通过沉头螺钉与基座连接。优点在于：从驱动原理上抑制了回退运动的产生，改善了压电驱动器的输出性能，增强了其在精密光学、显微操作、微观力学性能测试等领域的应用前景。