主动抑制寄生运动原理压电驱动器回退运动的装置与方法

本发明涉及一种主动抑制寄生运动原理压电驱动器回退运动的装置与方法，属于精密机械领域。装置包括基座、动子单元、驱动单元、预压力调整单元。动子单元安装在基座的凸台上；预压力调整单元通过螺钉固定在基座上；驱动单元安装在预压力调整单元上。该方法通过驱动单元中的驱动压电叠堆与提升压电叠堆产生的协同作用，使得寄生原理压电驱动器在驱动过程中压力恒定，进而实现回退运动的主动抑制。优点在于：可显著抑制回退运动，实现理想的步进运动，并能一定程度上消除系统非线性产生的影响，便于后续精密控制。在精密和超精密定位、精密测量、精密加工装配、生物遗传工程和材料表面性能检测等领域有着广阔的应用前景。