六自由度大行程无耦合大中空串并联压电微动平台

本发明公开了六自由度大行程无耦合大中空串并联压电微动平台，包括底座、动台面、第二平台和第一平台；第一导向单元、第二导向单元、第三导向单元、第四导向单元、第五导向单元和第六导向单元分别顺次连接第二平台和第一平台；第一导向单元内设有第一驱动单元，第二导向单元内设有第二驱动单元，第三导向单元内设有第三驱动单元；底座设有呈矩形顺次排布且垂直伸缩作用于第二平台的第四驱动单元、第五驱动单元、第六驱动单元和第七驱动单元，第五驱动单元设于第二驱动单元的下方，第六驱动单元设于第三驱动单元的下方。本发明的优点是结构简单紧凑、工作台面大、位移行程大、无位移耦合、固有频率高、易于集成位移传感器。