一种硅片切割机控制系统及方法

本发明涉及一种硅片切割机控制系统及方法，所述系统包括运动控制器、多个驱动器、多个电机和硅片切割机，所述运动控制器与多个所述驱动器电连接，每个所述驱动器与一个所述电机电连接，所述硅片切割机包括多个轴，每个所述电机与所述硅片切割机的一个所述轴连接；所述运动控制器，用于接收来自上位机的工艺参数，根据所述工艺参数生成控制指令，并将所述控制指令发送至所述驱动器；所述驱动器，用于根据所述控制指令驱动所述电机；所述电机，用于控制所述轴运动。本发明的技术方案自动化程度高，能够大幅降低硅片切割机工作时的振动幅度，提高了硅片切割机稳定性。