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改善晶片主定位边立面加工中出现缺陷的方法

公开(公告)号:CN109808085A

申请日:2018.12.29

公开(公告)日:2019.05.28

分类号:B28D5/00 B28D5/04

申请(专利权)人:珠海鼎泰芯源晶体有限公司

申请日期:2018.12.29

本发明公开一种改善晶片主定位边立面加工中出现缺陷的方法,包括以下步骤:(1)将晶锭的主定位边均匀涂抹胶层,所述胶层覆盖主定位边;(2)将晶锭粘在石墨工装上;(3)将所述石墨工装连同晶锭安装于线切割机的加工平台上,进行线切割加工,得到晶片;(4)对晶片进行双面研磨、抛光加工;(5)将涂抹在晶片主定位边垂直面及上沿处的胶层去除。本发明解决现有晶片加工过程中保护主定位边的问题。