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一种声表面波谐振结构滤波器

公开(公告)号:CN109327200A

申请日:2018.11.27

公开(公告)日:2019.02.12

分类号:H03H3/10(2006.01)I H03H9/64(2006.01)I H03H9/25(2006.01)I

申请(专利权)人:中电科技德清华莹电子有限公司

申请日期:2018.11.27

本发明涉及一种声表面波谐振结构滤波器,在钽酸锂晶体或铌酸锂晶体的压电晶片表面进行隔离还原处理,在还原区上形成谐振器单元电极。利用还原的压电晶片表面消除压电晶体热释电效应对谐振器单元周期电极线条的破坏,同时,防止了晶片全表面还原处理造成的谐振器单元间电隔离的减弱。