体声波谐振器及其制作方法、滤波器

本公开提出了一种体声波谐振器及其制作方法、滤波器；其中，所述具有温度补偿特性的体声波谐振器包括：衬底；在所述衬底上的空气隙型声反射单元；在所述声反射单元上的压电堆叠结构；以及；在所述压电堆叠结构上焊盘；其中，所述体声波谐振器还包括在所述衬底与所述压电堆叠结构之间、和/或所述压电堆叠结构之上的厚度经过特殊设计的布拉格反射结构。本公开体声波谐振器及其制作方法、滤波器，改善了温度稳定性，有效提升了器件的性能。