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一种用于半导体晶圆生产的切段装置

公开(公告)号:CN109676811A

申请日:2018.12.27

公开(公告)日:2019.04.26

分类号:B28D5/00 B28D5/04

申请(专利权)人:江苏纳沛斯半导体有限公司

申请日期:2018.12.27

本发明涉及半导体晶圆的生产设备技术领域,具体是一种用于半导体晶圆生产的切段装置,包括气缸、气缸活塞、切段箱、传送带、主动带轮、底座、从动带轮、刀具架和切断刀夹具,切段箱为分体式可拆卸箱体,切段箱固定安装在底座中部上方,切段箱上端中部固定安装有气缸,气缸输出端固定安装有气缸活塞,气缸活塞下端固定安装有刀具架,切段箱两侧位于刀具架的下方分别设置有进料口和出料口,进料口和出料口处设置有传送带,本发明,可使切出的半导体晶圆的生产原料硅晶棒段的长度保持恒定,结构简单,适合推广使用。