一种具有多级减振外框的体声波谐振器及其加工方法

本发明公开了一种具有多级减振外框的体声波谐振器及其加工方法，所述具有多级减振外框的体声波谐振器，包括支撑台，以及位于支撑台顶端的谐振体、外接输入电极、外接输出电极、外接地电极以及多级减振外框；外接输入电极和外接输出电极对称设置在支撑台顶端的两侧，且外接输入电极和外接输出电极的两侧均对称设置有外接地电极；谐振体设置在支撑台顶端的中心处，且其两侧分别通过对应的金属导线与外接输入电极和外接输出电极电性连接；多级减振外框围绕中心的谐振体均匀设置；本发明解决了现有技术存在的锚点损耗较大、品质因数难以提高以及可靠性低的问题。