一种利用正交模态的叠加提高微谐振器品质因子的方法及其实现装置

本发明涉及一种利用正交模态的叠加提高微谐振器品质因子的方法及其实现装置，包括：(1)正交模式的同时激励与测量：将调制的脉冲激光聚焦在微谐振器的桥接处，使其产生振动，激励出谐振器的两个形态上互相垂直的正交模式；(2)正交模式的调节造成叠加：利用连续激光照射微谐振器，在梁上产生的热效应调谐其第一阶面内谐振模式与其最邻近的面外谐振模式靠近至叠加；(3)测量振动信号。相比于已有的研究，该发明只需要一个调制的正弦激发信号，和一个加热的稳态激光就能实现两个正交模式的叠加，方法简单，可重复性好。