金刚线切割方法

本发明涉及一种金刚线切割方法，包括：进刀段、振荡切割段和出刀段，利用多线切割机对硅棒、硅块等进行切割。其中，在振荡切割段中，工件进给速度和金刚线速度均呈周期性变化，工件进给速度随金刚线速度的变化而变化，金刚线匀速运动时，工件也匀速运动，金刚线减速运动时，工件也减速运动，金刚线加速运动时，工件也加速运动，减小了工件进给速度与金刚线速度之间的差值波动，进而减少了金刚线的线弓，以减少金刚线的耗线量和断线风险，同时也保证了金刚线的切割能力，减少硅片表面出现明显的切割痕迹，得到品质更好的硅片。