一种高精度晶圆切割机集中控制系统、方法和装置

本发明提供了一种高精度晶圆切割机集中控制系统、方法和装置，通过多台现场侧切割机独立设备；信号总线，所述信号总线与所述多台现场侧切割机独立设备连接，与所述多台现场侧切割机独立设备进行信号交互；控制侧中控台，所述控制侧中控台与所述信号总线连接，包括：控制信号、视频信号切换器，多台控制端主机，且，所述多台控制端主机为串行连接；多台控制端显示器，与所述多台控制端主机一一对应连接。解决现有的采用总机控制模式，由一台主机集中控制多台设备，存在集中管理模式容易造成操作阻塞的技术问题。达到采用两台至多台控制端主机串行同时通过总线控制现场侧多台设备，有效避免了集中管理的操作阻塞现象，提高操作精度的技术效果。