一种监控空气隙型体声波谐振器空腔释放过程的方法

本公开提出了一种监控空气隙型体声波谐振器空腔释放过程的方法，包括以下步骤：S1，在衬底上同时形成空气隙型体声波谐振器凹坑和监控图形凹坑；S2，在形成有凹坑的所述衬底上形成牺牲层；S3，使所述牺牲层的表面与所述衬底的上表面齐平；S4，在形成有牺牲层的所述衬底上形成下电极层，刻蚀该下电极层以形成下电极图形并暴露出监控图形区域；S5，在形成有下电极层的所述衬底上形成透明压电层；S6，在形成有压电层的所述衬底上形成上电极层，刻蚀形成上电极图形并暴露出监控图形区域上的压电层；利用所述监控图形对所述空气隙型体声波谐振器空腔释放过程进行监控。本公开方法实现了可视及量化的释放过程监控。