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切割线的喷淋结构、工件切割系统及喷淋方法

公开(公告)号:CN109571783A

申请日:2018.12.27

公开(公告)日:2019.04.05

分类号:B28D5/00(2006.01)I B28D5/04(2006.01)I

申请(专利权)人:西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请日期:2018.12.27

本发明提供一种切割线的喷淋结构、工件切割系统及喷淋方法,其中,切割线的喷淋结构应用于工件切割系统,所述工件切割系统包括:切割结构,包括两个线辊和缠绕在所述线辊上的切割线,所述线辊包括线槽,所述切割线缠绕在所述线槽内;工件供给结构,用于承载工件并控制所述工件向靠近所述切割线的方向进给;所述喷淋结构包括:第一喷嘴结构,所述第一喷嘴结构包括第一喷嘴,用于向所述线辊的线槽及所述切割线喷淋研磨液,以清洗所述线槽和所述切割线;第二喷嘴结构,所述第二喷嘴结构包括第二喷嘴,用于向邻近工件的所述切割线喷淋研磨液。根据本发明实施例的切割线的喷淋结构强化了清洗能力,提高了切割效率。